CN120006243A 一种真空辉光镀膜的成分实时控制方法及系统 （杭州德望纳米科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120006243A

(43)申请公布日2025.05.16

(21)申请号202510496224.4

(22)申请日2025.04.21

(71)申请人杭州德望纳米科技有限公司

地址311200浙江省杭州市萧山区萧山机

器人小镇鸿兴路389号2号楼311室

(72)发明人董萌萌董宇航李凡巧

(74)专利代理机构杭州稀橙专利代理事务所(普通合伙)33608

专利代理师俞宏涛

(51)Int.Cl.

C23C14/54(2006.01)

C23C14/06(2006.01)

C23C14/35(2006.01)

权利要求书3页说明书8页附图3页

(54)发明名称

一种真空辉光镀膜的成分实时控制方法及

系统

(57)摘要

CN120006243A本发明公开了一种真空辉光镀膜的成分实时控制方法及系统，涉及真空镀膜技术领域，首先在全息成分采集阶段，利用传感器和监测设备实时采集镀膜过程中的多维数据，其次在自适应成分调节阶段，通过计算真空腔内的铬氮成分预测值，并与目标浓度进行比较，以判断是否需要进行成分调节，随后在实时调整策略阶段，当成分偏离目标值时，通过设备管理平台自动调整氮气流量、偏压和靶电流，以确保镀膜过程的稳定性，最后，在实时膜层质量修正阶段，通过创新计