CN119536410A 一种l型真空管道温度控制方法、系统及智能终端 （无锡海鼎微电子有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119536410A

(43)申请公布日2025.02.28

(21)申请号202411777273.7

(22)申请日2024.12.05

(71)申请人无锡海鼎微电子有限公司

地址214000江苏省无锡市锡山区东港镇

朝阳村怀仁路61号北楼3楼

(72)发明人梁子云

(74)专利代理机构上海申晟知识产权代理有限

公司31444

专利代理师李祥英

(51)Int.Cl.

G05D23/20(2006.01)

权利要求书3页说明书12页附图4页

(54)发明名称

一种L型真空管道温度控制方法、系统及智