CN119567084A 抛光设备以及抛光方法 （上海超硅半导体股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119567084A

(43)申请公布日2025.03.07

(21)申请号202411777457.3

(22)申请日2024.12.05

(71)申请人上海超硅半导体股份有限公司

地址201616上海市松江区鼎松路150弄1-

15号

申请人重庆超硅半导体有限公司

(72)发明人刘浦锋黄小涵陈猛

(74)专利代理机构上海盈盛知识产权代理事务

所(普通合伙)31294

专利代理师赵娟娟

(51)Int.Cl.

B24B37/04(2012.01)

B24B37/10(2012.01)

B24B37/30(2012.01)

B24B