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- 2026-07-16 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119596645A
(43)申请公布日2025.03.11
(21)申请号202411783538.4
(22)申请日2024.12.06
(71)申请人浙江光特科技有限公司
地址312000浙江省绍兴市越城区群贤路
与中兴大道东南角一楼107室
(72)发明人石峰万远涛高思铖
(74)专利代理机构北京恒律知识产权代理有限
公司11416
专利代理师王祎晗
(51)Int.Cl.
G03F7/20(2006.01)
H01L21/027(2006.01)
G03F7/16(2006.01)
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