半导体器件生产线项目竣工验收报告.docx

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半导体器件生产线项目竣工验收报告

目录TOC\o1-4\z\u

一、项目概况 4

二、验收工作组织 6

三、建设内容与规模 7

四、工艺流程与设备配置 10

五、土建及公用工程完成情况 14

六、洁净厂房建设情况 17

七、动力系统完成情况 18

八、给排水系统完成情况 19

九、通风空调系统完成情况 22

十、工艺管道完成情况 25

十一、电气系统完成情况 28

十二、自控系统完成情况 31

十三、消防系统完成情况 34

十四、环保设施完成情况 37

十五、职业健康管理情况 38

十六、质量管理体系情况 4

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