具有同步驱动双质量两轴陀螺仪设计与测试.pdfVIP

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具有同步驱动双质量的两轴陀螺仪

T.Akashi,H.Funabashi,Y.Omura,M.Fujiyoshi,Y.Hata,和Y.Nonomura丰田研发实

验室株式会社，爱知县长久手市

了一种单个传感器元件的去谐两轴偏航和滚动陀螺仪。我们设计并制造了一种新

颖的结构，由同步驱动的双质量和三种类型的支撑梁组成，以限制每个质量的移动方向。

设计的频率与测量值非常吻合，结果得到了‑0.7%和‑2.2%的两轴去谐比。制造的陀

螺仪显示出+/‑2.7%的交叉轴灵敏度。测试结果表明，该陀螺仪能够同时检测偏航和滚动

速率，并且具有较低的交叉轴灵敏度。

，横滚，双质量，交叉轴敏感度。

引言

MEMS惯性传感器已被用于支持车辆驾驶的安全。特别是，用于检测偏航率的垂直轴

MEMS陀螺仪应用于车辆稳定性控制以防止侧滑。据，这种垂直轴陀螺仪的性能已

得到改进[1‑2]。

相比之下，用于检测横滚率的横向轴陀螺仪较少被[3]。这似乎部分是因为通过改变

安装方向，垂直轴陀螺仪可以作为横滚率传感器使