CN119650470A 一种智能半导体晶圆喷淋控制方法及系统 (广东凯迪微智能装备有限公司).pdfVIP

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  • 2026-07-17 发布于重庆
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CN119650470A 一种智能半导体晶圆喷淋控制方法及系统 (广东凯迪微智能装备有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119650470A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202411781552.0

(22)申请日2024.12.05

(71)申请人广东凯迪微智能装备有限公司

地址523000广东省东莞市大朗镇大朗富

通路330号6栋302室

(72)发明人江永熊伟

(74)专利代理机构广东正恒知识产权代理事务

所(普通合伙)44994

专利代理师屈金波

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

B08B13/00(2006.01)

B08B3/02(2006.01)

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