CN119217259A 晶元用清洁液供料装置及其供料方法 (常州臻晶半导体有限公司).pdfVIP

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  • 2026-07-19 发布于重庆
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CN119217259A 晶元用清洁液供料装置及其供料方法 (常州臻晶半导体有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119217259A

(43)申请公布日2024.12.31

(21)申请号202411744710.5

(22)申请日2024.12.02

(71)申请人常州臻晶半导体有限公司

地址213000江苏省常州市武进国家高新

技术产业开发区武宜南路377号19号

厂房一层东

(72)发明人张庆云杨加海饶佳鹏郑红军

陆敏

(74)专利代理机构常州市科佑新创专利代理有

限公司32672

专利代理师许瑞成

(51)Int.Cl.

B24B37/34(2012.01)

B24B57/02(2006.01)

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