CN120080255A 形成化学-机械平面化垫调节器的方法 （贰陆特拉华股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120080255A

(43)申请公布日2025.06.03

(21)申请号202510159828.X

(22)申请日2017.04.06

(30)优先权数据

62/319,2832016.04.06US

(62)分案原申请数据

201780030883.22017.04.06

(71)申请人贰陆特拉华股份有限公司地址美国特拉华州

(72)发明人普拉桑特·G·卡兰迪卡

迈克尔·K·阿格哈亚尼安爱德华·格莱特利克斯

布赖恩·J·蒙蒂

(74)专利代理机构北京派特恩知识产权代理有限公司11270

专利代理师梁倩张铮铮

(51)Int.Cl.

B24B37/04(2012.01)

B24B37/32(2012.01)

B24B53/017(2012.01)

B24B53/12(2006.01)

H01L21/304(2006.01)

权利要求书1页说明书7页附图6页

(54)发明名称

形成化学-机械平面化垫调节器的方法

(57)摘要

CN120080255A本发明涉及一种形成化学一机械平面化垫调节器的方法。所述方法包括：提供复合物，复合物包含位于基质内的多个金刚石颗粒，基质包含碳化硅；侵蚀基质，以在接触表面处暴露金刚石颗

CN120