电子级试剂洁净管控规范.docx

电子级试剂洁净管控规范

目录TOC\o1-4\z\u

一、总则 4

二、管控适用范围 9

三、试剂洁净等级划分 13

四、试剂分类管控规则 16

五、生产过程洁净管控 19

六、生产环境控制要求 21

七、生产设备清洁管控 23

八、生产人员行为规范 25

九、原料入场洁净检验 27

十、包材洁净管控要求 29

十一、试剂储存洁净管控 31

十二、运输过程洁净管控 34

十三、洁净指标检验方法 36

十四、检验频次与不合格处置 38

十五、试剂洁净标识管理 41

十六、洁净管控追溯机制 42

十七、从业人员

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