CN119251210A 坩埚缺陷检测方法、装置和计算机设备 （浙江求是半导体设备有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119251210A

(43)申请公布日2025.01.03

(21)申请号202411746307.6G06N3/045(2023.01)

(22)申请日2024.12.02

(71)申请人浙江求是半导体设备有限公司

地址311100浙江省杭州市临平区临平街

道顺达路500号1幢102室

申请人浙江晶盛机电股份有限公司

(72)发明人傅林坚刘华曾若琪

(74)专利代理机构杭州华进联浙知识产权代理

有限公司33250

专利代理师金佳颖

(51)Int.Cl.

G06T7/00(2017.01)

G06T7/136(