CN119593059A 一种石墨托盘、石墨托盘的制备方法以及外延生长设备 （中科汇珠(广州)半导体有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119593059A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202411750026.8

(22)申请日2024.12.02

(71)申请人中科汇珠（广州）半导体有限公司

地址511458广东省广州市南沙区环市大

道南25号（自编1栋研发楼A4）508房

(72)发明人杜凯杨军伟郭松波宋华平

(74)专利代理机构北京柏杉松知识产权代理事

务所(普通合伙)11413

专利代理师孙翠贤马敬

(51)Int.Cl.

C30B25/12(2006.01)

C30B25/16(2006.01)

C30B25/08(2006.01)

C23C