IEC 62047-46：：2025 半导体器件微机电器件第46部分硅基MEMS制造技术纳米级厚度膜拉伸强度的测量方法标准立项发展报告.docx

IEC62047-46:2025硅基MEMS制造技术纳米级厚度膜拉伸强度测量方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:MeasurementmethodoftensilestrengthofnanoscalethicknessmembraneforSilicon-basedMEMSfabricationtechnology(IEC62047-46:2025)

摘要

随着微机电系统（MEMS）技术向高精度、微型化和多功能化方向发展，基于硅基MEMS制造技术的纳米级厚度薄膜已成为各类微传感器、微执行器、射频器件及