CN119673756A 一种用于硅片去边加工的优化方法 (上海中欣晶圆半导体科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-07-23 发布于重庆
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CN119673756A 一种用于硅片去边加工的优化方法 (上海中欣晶圆半导体科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119673756A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202411763304.3

(22)申请日2024.12.03

(71)申请人上海中欣晶圆半导体科技有限公司

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