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半导体器件微机电器件第49部分：压电MEMS悬臂的温度和湿度试验方法标准立项发展报告
StandardizationDevelopmentReport:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part49:TemperatureandhumiditytestmethodsforpiezoelectricMEMScantilevers
摘要
本报告旨在系统阐述国际标准IEC62047-49:2025《半导体器件微机电器件第49部分：压电MEMS悬臂的温度和湿度试验方法》的立项背景
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