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《半导体工艺设备微波电源通用技术要求》.pdfVIP

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  • 2026-07-24 发布于河南
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《半导体工艺设备微波电源通用技术要求》.pdf

    ICS31.080.01

    CCSK46T/GHIC

    团体标准

    T/GHICXXX-XXXX

    半导体工艺设备微波电源通用技术要求

    Generaltechnicalstandardsformicrowavepowersuppliesfor

    semiconductorprocessingequipment

    （征求意见稿）

    20XX-XX-XX发布20XX-XX-XX实施

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