1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 汽车/机械/制造
  5. 机械/仪表工业

圆筒形溅射靶设计与应用详解.pdf

圆筒形溅射靶设计与应用详解.pdf

    （19）中华人民共和国国家知识产权局

    （12）发明专利说明书

    靶材的外径L是圆筒形靶材的长度且上述圆筒形靶材的外周面的表面粗糙度Ra为m以下法律状态法律状态公告日法律状态信息法律状态公开实质审查的生效授权公开实质审查的生效授权权利要求说明书圆筒形溅射靶的权利要求说明书内容是请下载后查看说明书圆筒形溅射（10）申请公布号

    CN101688293B

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >