原创力文档广东高科技产业商会团体标准编制
说明
《半导体工艺设备射频电源通用技术规
范》
（征求意见稿）
《半导体工艺设备射频电源通用技术规范》编制组
二○二六年七月
《半导体工艺设备射频电源通用技术规范》
一、团体标准制修订背景、目的和意义
在全球半导体产业自主可控战略驱动下，射频电源作为刻蚀、沉
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