半导体ESD防护实施方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 4
二、项目范围 8
三、术语定义 10
四、ESD风险机理 13
五、封测流程防护要求 16
六、人员静电控制 19
七、厂房环境控制 22
八、设备接地规范 25
九、工作台防护配置 28
十、物料搬运要求 30
十一、器件包装防护 32
十二、离子中和措施 34
十三、过程监测方法 38
十四、敏感等级管控 40
十五、洁净区防护要求 42
十六、异常处置流程 46
十七、静电培训要求 48
十八、岗位职责分工 49
十九、检查
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