半导体测试流程管控方案.docx

半导体测试流程管控方案

目录TOC\o1-4\z\u

一、总则 4

二、测试目标与范围 8

三、流程管控原则 10

四、组织职责分工 12

五、测试前准备管理 13

六、来料与批次确认 15

七、测试环境控制 18

八、设备校准与点检 20

九、测试程序管理 21

十、样品接收与标识 23

十一、测试执行控制 25

十二、参数设定管理 27

十三、复测与判定规则 30

十四、数据采集与追溯 32

十五、测试记录管理 34

十六、失效分析协同 35

十七、设备维护与保养 36

十八、人员培训与考核 40

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