原创力文档半导体质量追溯管理方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 4
二、术语与定义 6
三、追溯管理目标 9
四、适用范围 10
五、职责分工 12
六、追溯对象识别 15
七、原材料编码管理 18
八、供应商信息管理 21
九、来料检验控制 22
十、制程批次管理 24
十一、工艺参数记录 26
十二、设备状态记录 28
十三、环境数据采集 30
十四、人员作业记录 31
十五、关键工序管控 35
十六、测试数据管理 38
十七、不合格品标识 40
十八、隔离与处置流程 43
十九、变更管理要求
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