半导体检测方案.docx

半导体检测方案

目录TOC\o1-4\z\u

一、半导体封装检测概述 3

二、检测目标与适用范围 4

三、封装结构识别方法 6

四、外观缺陷检测要求 7

五、尺寸参数测量规范 10

六、焊点质量检测方法 11

七、引脚与焊盘检测要求 14

八、键合质量评估方法 17

九、内部空洞检测要求 19

十、裂纹与分层检测规范 21

十一、污染物检测与控制 23

十二、封装气密性检测方法 25

十三、热性能检测要求 27

十四、电性能检测项目 28

十五、绝缘性能检测要求 30

十六、可靠性筛选流程 33

十七、环境应力

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