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半导体环境监测控制方案.docx

半导体环境监测控制方案.docx

    半导体环境监测控制方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 4

    二、项目概况 7

    三、监测目标 8

    四、环境控制范围 11

    五、洁净室分区管理 12

    六、空气洁净度控制 15

    七、温湿度控制 17

    八、压差与气流组织 19

    九、微粒监测控制 21

    十、化学污染控制 23

    十一、静电防护控制 24

    十二、振动与噪声控制 27

    十三、照度与作业环境 29

    十四、工艺排气控制 30

    十五、废气收集处理 33

    十六、废水监测控制 34

    十七、固废暂存管理 36

    十八、能耗监测控制 37

    十九、在线监测系

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