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半导体老化测试实施方案.docx

半导体老化测试实施方案.docx

    半导体老化测试实施方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概述 4

    二、测试目标 6

    三、测试范围 7

    四、产品分级 10

    五、测试原则 11

    六、测试环境 14

    七、设备配置 16

    八、样品准备 19

    九、工艺流程 22

    十、参数设定 25

    十一、应力条件 27

    十二、老化周期 29

    十三、监控内容 30

    十四、数据采集 36

    十五、判定标准 38

    十六、异常处理 40

    十七、失效分析 44

    十八、质量控制 46

    十九、风险管理 47

    二十、人员要求 49

    二十一、进度安排 51

    二

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