CN119601485A 晶圆用凸片检测系统及检测方法 （上海稷以科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119601485A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202411730543.9G01D11/30(2006.01)

(22)申请日2024.11.28

(71)申请人上海稷以科技有限公司

地址200241上海市闵行区东川路555号戊

楼4026室

(72)发明人杨平

(74)专利代理机构上海邦德专利代理事务所

(普通合伙)31312

专利代理师孟丽娜

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

G01B11/00(2006.01)