半导体器件 第14-11部分：半导体传感器 用于测量紫外线、照度和温度的集成声表面波传感器的测试方法 (2).pdfVIP

国家标准《半导体器件第14-11部分：半导体传感器用

于测量紫外线、照度和温度的集成声表面波传感器的测试方

法》（意见征集稿）编制说明

一、工作简况

1、任务来源

根据“国家标准委关于下达2025年第十一批推荐性国家标准计划及相关标

准外文版计划的通知”（国标委发〔2025〕69号，2025年12月2日），由工业和

信息化部电子第五研究所牵头负责国家标准《半导体器件第14-11部分：半导体

传感器用于测量紫外线、照度和温度的集成声表面波传感器的测试方法》的制

定，计划编T-339，广东工业大学、湖南大学、西安交通大学、上海

航天技术基础研究所、电子科技大学、兰州交通大学、四川铁道职业学院、东莞

市惟思德科技发展有限公司、广州智广电子科技有限公司、上海市质量监督检验

技术研究院有限公司、浙江省质量科学研究院、广州博冠光电科技股份有限公司

等单位参与本标准的编写。本标准由中华人民共和国工业和信息化部提出，全国

半导体器件标准化技术委员会归口。

2、制定背景

声表面波(SAW)传感器是一种用声表面波器件作为传感元件、将被测量的信

息通过声表面波器件中声表面波的速度或频率的变化反映出来，并转换成电信号

输出的传感器。能够精确测量物理、化