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微透镜阵列快刀伺服车削中的压电驱动金刚石刀具装置设计

摘要

微透镜阵列在光学成像、光通信等领域需求广泛，其超精密加工对快刀伺服系统提出了极高要求。传统加工方法在面形复杂度与加工效率上存在显著局限，难以满足微透镜阵列的高频微进给与高精度需求。本课题针对此痛点，设计了一种基于压电叠堆驱动与杠杆放大机构的金刚石刀具装置，并引入电容传感器实现闭环反馈。论文遵循“需求分析→总体设计→详细设计→实现→测试”的工程递进思路。首先，分析了微透镜阵列加工对刀具响应频率与行程的指标要求；其次，构建了压电驱动与机械放大相协同的总体架构；接着，详细阐述了杠杆放大机构的参数优化与闭环控制算法；最终，完成了样机制造与综合测试。核心创新在于将柔性铰链杠杆放大与电容微位移反馈深度融合，有效突破了压电叠堆行程与精度兼顾的瓶颈。测试表明，系统行程达45μm，频宽超

第一章绪论

1.1研究背景

微透镜阵列作为核心微光学元件，广泛应用于光场相机、AR/VR头盔及激光雷达等前沿领域。其表面由大量微米级曲率半径的球面或非球面凹凸结构组成，面形精度与表面粗糙度直接决定光学系统的波前质量与成像分辨率。这种三维复杂微结构对超精密加工技术提出了严峻挑战。

目前，微透镜阵列的加工主要依赖光刻、离子束刻蚀及单点金刚石车削。光刻与刻蚀工艺虽能实现批量制造，但难以获取连续光滑的光学表面，衍射效应严重。单点金刚石车削结合