原创力文档SJ20514-1995微波功率晶体管用硅外延片规范;目录;01;适用范围;规范性引用文件;术语和定义;02;外延片结构;外延片表面质量;外延片厚度和均匀性;外延片电阻率;03;外延片结构检查;外延片表面质量检查;外延片厚度和均匀性测量;外延片电阻率测量;04;抽样;检验分类;检验方法和判定准则;05;标志;包装;运输;储存;06;技术指标;外延片质量保证;使用说明;07;国际标准;国家标准;行业标准;THANKS
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