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CN119650216A 一种基于层状化合物的低介电薄膜及其制备方法与应用 （浙江大学）.pdfVIP

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  • 2026-07-29 发布于重庆
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CN119650216A 一种基于层状化合物的低介电薄膜及其制备方法与应用 （浙江大学）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119650216A

    (43)申请公布日2025.03.18

    (21)申请号202411733953.9

    (22)申请日2024.11.29

    (71)申请人浙江大学

    地址310058浙江省杭州市西湖区余杭塘

    路866号

    (72)发明人赵俊杰袁舒畅杨政

    (74)专利代理机构杭州求是专利事务所有限公

    司33200

    专利代理师邱启旺

    (51)Int.Cl.

    H01B17/56(2006.01)

    H01L23/532(2006.01)

    H10D30/67(2025.01)

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