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- 2026-07-29 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119194599A
(43)申请公布日2024.12.27
(21)申请号202411735231.7C30B28/14(2006.01)
H01L21/02(2006.01)
(22)申请日2024.11.29
(71)申请人中电晶华(天津)半导体材料有限公
司
地址300050天津市津南区八里台镇丰泽
四大道7号
(72)发明人李明达龚一夫秦涛吴重阳
李世才赵聪董彬刘云刘奇
傅颖洁庞伟龙王亚倞
(74)专利代理机构北京力量专利代理事务所
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