CN119194599A 一种功率器件用无裂纹和崩边的硅外延片及其制备方法 (中电晶华(天津)半导体材料有限公司).pdfVIP

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  • 2026-07-29 发布于重庆
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CN119194599A 一种功率器件用无裂纹和崩边的硅外延片及其制备方法 (中电晶华(天津)半导体材料有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119194599A

(43)申请公布日2024.12.27

(21)申请号202411735231.7C30B28/14(2006.01)

H01L21/02(2006.01)

(22)申请日2024.11.29

(71)申请人中电晶华(天津)半导体材料有限公

地址300050天津市津南区八里台镇丰泽

四大道7号

(72)发明人李明达龚一夫秦涛吴重阳

李世才赵聪董彬刘云刘奇

傅颖洁庞伟龙王亚倞

(74)专利代理机构北京力量专利代理事务所

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