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TIAWBS 028—2026立方碳化硅单晶晶片(111) Si面和（-1-1-1）C面的检测方法.pdfVIP

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  • 2026-07-30 发布于河南
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TIAWBS 028—2026立方碳化硅单晶晶片(111) Si面和（-1-1-1）C面的检测方法.pdf

    ICS29.045

    CCSH83

    团体标准

    T/IAWBS028-2026

    立方碳化硅单晶晶片(111)Si面和

    (111)C面的检测方法

    Determinationmethodfor(111)siliconterminated

    and(111)carbonterminatedsurfacesofcubic

    siliconcarbidewafer

    2026-07-07发布2026-07-14实施

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