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低压化学气相沉积法生长 B 掺杂 ZnO 薄膜及其性能.docx

低压化学气相沉积法生长 B 掺杂 ZnO 薄膜及其性能.docx

    徐小科等:低压化学气相沉积法生长B掺杂ZnO薄膜及其性能07043

    文章编号:1001G9731(2015)07G07043G05

    低压化学气相沉积法生长B掺杂ZnO薄膜及其性能?

    徐小科1,2,赵俊亮2,3,李效民1,吴永庆1,杨哲2,何兵2

    (1.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海200050;2.上海俊天科技有限公司,上海201815

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