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50Ω端接AlN MEMS滤波器基于兰姆波谐振器设计与实现.pdf

50Ω端接AlN MEMS滤波器基于兰姆波谐振器设计与实现.pdf

    50Ω‑端接的氮化铝MEMS滤波器

    基于兰姆波谐振器

    ，张海星，张德宏，

    精密测试技术及仪器国家重点，，，。

    本文了一种基于氮化铝（AlN）兰姆波谐振器（LWRs）的超小型140

    MHz窄带滤波器的实现。首先，介绍了梯形LWR滤波器的设计原理。所制造

    的器件与电感‑电容网络级联后，能够很好地匹配50欧姆，并表现出显著的高

    性能。此外，滤波器与一对片上电容器单片集成，仅需电感器，从而大大简化

    了电路并节省了尺寸。最终的滤波器在通带内的损耗（IL）为2.78dB，

    具有陡峭的滤波特性，

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