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CN119549991A 一种静电卡盘的制备方法 （君原电子科技(海宁)有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-07-30 发布于重庆
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CN119549991A 一种静电卡盘的制备方法 （君原电子科技(海宁)有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119549991A

    (43)申请公布日2025.03.04

    (21)申请号202411744486.X

    (22)申请日2024.11.30

    (71)申请人君原电子科技（海宁）有限公司

    地址314400浙江省嘉兴市海宁市海宁经

    济开发区谷水路306号天通泛半导体

    产业园2幢

    (72)发明人石锗元裘祝恒李君洪元杓

    陈振宁李海南肖伟

    (51)Int.Cl.

    B23P15/00(2006.01)

    权利要求书1页说明书4页附图2页

    (54)发明名称

    一种静电卡盘的制备方法

    (57)摘要

    本发明公开了一

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