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SJ/T12052-2025《电子级乙硅烷》标准化发展报告

EnglishTitle

StandardizationDevelopmentReportforSJ/T12052-2025ElectronicGradeDisilane

摘要

随着集成电路制造工艺向纳米级节点持续演进，高纯度电子级特种气体作为关键原材料，其质量稳定性和标准化水平直接关系到芯片良率与器件性能。乙硅烷（Si?H?）作为一种重要的硅源气体，广泛应用于半导体外延生长、化学气相沉积（CVD）、非晶硅薄膜制备及先进封装等工艺环节，尤其在低温沉积和选择性沉积领域具有不可替代的优势。然而，长期以来我国电子级乙硅烷产品缺乏统一的行业标准，导致市场质量参差不齐、检测方法不统一，制约了国产化替代进程和产业链自主可控。为满足半导体产业对高纯乙硅烷的迫切需求，规范产品技术要求和检验规则，工业和信息化部于2025年发布了行业标准SJ/T12052-2025《电子级乙硅烷》。本标准规定了电子级乙硅烷的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存要求，适用于以硅烷为原料经热解、精馏等工艺制备的纯度不低于99.999%的电子级乙硅烷产品。标准在技术指标方面对产品纯度、杂质含量（包括金属杂质、非金属杂质、颗粒物等）提出了明确限值，并首次系统规定了电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）、气相色谱法、露点测定法等