CN119915735A 一种晶圆定位和缺陷检测方法、设备及介质 （杭州光研科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119915735A

(43)申请公布日2025.05.02

(21)申请号202510378362.2

(22)申请日2025.03.28

(71)申请人杭州光研科技有限公司

地址311200浙江省杭州市萧山区经济技

术开发区建设二路858号集成电路设

计产业园B幢103室

(72)发明人陈海龙郭晓忠翁杰

(74)专利代理机构深圳鼎丞佰瑞知识产权代理

有限公司441149

专利代理师芦艳洁

(51)Int.Cl.

G01N21/01(2006.01)

G01N21/95(2006.01)

H01L21/67(2006.01)