CN119973894A 一种用于碳化硅晶圆减薄的精密加工工具制备方法与装置 (江苏号角精密工具有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-01 发布于重庆
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CN119973894A 一种用于碳化硅晶圆减薄的精密加工工具制备方法与装置 (江苏号角精密工具有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119973894A

(43)申请公布日2025.05.13

(21)申请号202510408660.1

(22)申请日2025.04.02

(71)申请人江苏号角精密工具有限公司

地址226000江苏省南通市崇川区兴福路

29号3幢

(72)发明人贾佳易辉

(74)专利代理机构江苏南通启海专利商标代理

事务所(普通合伙)32812

专利代理师杨满平

(51)Int.Cl.

B24D18/00(2006.01)

B24D3/14(2006.01)

权利要求书3页说明书8页附图1页

(54)发明名称

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