多晶硅铸锭坩埚检验标准.docx

多晶硅铸锭坩埚检验标准

目录TOC\o1-4\z\u

一、总则 3

二、规范性引用文件 5

三、技术要求 8

四、外观要求 11

五、尺寸要求 12

六、结构要求 16

七、材料要求 17

八、物理性能要求 20

九、化学性能要求 22

十、热性能要求 26

十一、力学性能要求 28

十二、洁净度要求 29

十三、生产过程控制 31

十四、抽样方法 33

十五、检验方法 35

十六、判定规则 39

十七、标识要求 42

十八、包装要求 43

十九、运输要求 44

二十、贮存要求 45

二十一、质

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