高纯石英陶瓷坩埚制造规范.docx

高纯石英陶瓷坩埚制造规范

目录TOC\o1-4\z\u

一、范围 3

二、术语和定义 6

三、技术要求 10

四、原料要求 13

五、配方设计 14

六、坩埚结构要求 17

七、成形工艺要求 20

八、精加工要求 22

九、表面质量要求 24

十、尺寸与公差要求 25

十一、纯度控制要求 28

十二、理化性能要求 30

十三、热性能要求 32

十四、耐腐蚀性能要求 34

十五、洁净度要求 36

十六、检验方法 37

十七、抽样要求 40

十八、检验规则 42

十九、标志包装与储存 44

二十、运输要

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