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洁净车间建设标准.docx

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    洁净车间建设标准

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、术语和定义 4

    三、基本原则 17

    四、选址与规划 18

    五、建筑设计要求 21

    六、工艺流程布局 25

    七、洁净等级划分 27

    八、围护结构要求 29

    九、地面与墙面要求 34

    十、门窗与密封要求 36

    十一、空调净化系统 38

    十二、通风与换气要求 40

    十三、温湿度控制要求 43

    十四、压差控制要求 44

    十五、照明与电气要求 46

    十六、给排水要求 49

    十七、气体与能源系统 51

    十八、设备选型要求 53

    十九、材料与构配件要求

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