原创力文档HPDIII(高压扩散器)
粒子监测附件
大气压力下运行的粒子计数器
降低高压气体的压力
HPDIII将高纯度高压气体压力降低到接近大气压，以便PMS粒子
计数器对≥0.2µm的气溶胶粒径通道进行精确采样。HPD的工作原
产品优势
理是将部分气体从系统中扩散出来，将气体压力降低到接近大气
•测量5到100
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