CN120116075A 一种用于大尺寸硅片边缘抛光的可调式硅片托台及其调节方法 (麦斯克电子材料股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-02 发布于重庆
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CN120116075A 一种用于大尺寸硅片边缘抛光的可调式硅片托台及其调节方法 (麦斯克电子材料股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120116075A

(43)申请公布日2025.06.10

(21)申请号202510385731.0B24B47/22(2006.01)

B24B1/00(2006.01)

(22)申请日2025.03.29

(71)申请人麦斯克电子材料股份有限公司

地址471000河南省洛阳市高新技术产业

开发区滨河北路99号北侧洛阳综合保

税区

(72)发明人张倩张昊武钰栋熊诚雷

(74)专利代理机构洛阳九创知识产权代理事务

所(普通合伙)41156

专利代理师张龙

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