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洁净车间环境控制手册.docx

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    洁净车间环境控制手册

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、洁净车间基础概述 5

    三、环境控制目标 6

    四、洁净等级划分 9

    五、空间布局原则 17

    六、围护结构要求 20

    七、空气净化系统 24

    八、温湿度控制 26

    九、压差控制 27

    十、气流组织管理 29

    十一、微粒控制要求 31

    十二、微生物控制要求 33

    十三、人员行为管理 35

    十四、物料进出管理 37

    十五、静电控制措施 39

    十六、噪声与振动控制 43

    十七、照明与电气控制 45

    十八、运行维护要求 48

    十九、异常处置流程

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