CN120080253A 一种化学机械抛光膜厚实时控制方法、装置及设备 (北京晶亦精微科技股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-02 发布于重庆
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CN120080253A 一种化学机械抛光膜厚实时控制方法、装置及设备 (北京晶亦精微科技股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120080253A

(43)申请公布日2025.06.03

(21)申请号202510410095.2B24B7/22(2006.01)

(22)申请日2025.04.02

(71)申请人北京晶亦精微科技股份有限公司

地址100176北京市通州区经济技术开发

区科谷四街1号院13号楼

(72)发明人赵光远何艳红王燕曾芬

吴蕴霖

(74)专利代理机构河北国维致远知识产权代理

有限公司13137

专利代理师陈少娟

(51)Int.Cl.

B24B37/005(2012.01)

B24B49/12(2006.

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