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CN120109622A 一种准分子激光器放电区域的量产化生产装置及控制方法 （深圳盛方科技有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-08-02 发布于重庆
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CN120109622A 一种准分子激光器放电区域的量产化生产装置及控制方法 （深圳盛方科技有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN120109622A

    (43)申请公布日2025.06.06

    (21)申请号202510404308.0

    (22)申请日2025.04.01

    (71)申请人深圳盛方科技有限公司

    地址518116广东省深圳市龙岗区宝龙街

    道宝龙社区宝荷大道76号智慧家园二

    期3A1902

    (72)发明人王宏伟罗其豪

    (74)专利代理机构中山驰鼎专利商标代理事务

    所(普通合伙)44706

    专利代理师顾琪

    (51)Int.Cl.

    H01S3/03(2006.01)

    H01S3/038(2006.01)

    权利要求书2

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