CN120102432A 耐腐蚀流控装置寿命测试系统和测试方法 （星奇(上海)半导体有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120102432A

(43)申请公布日2025.06.06

(21)申请号202510380300.5

(22)申请日2025.03.28

(71)申请人星奇（上海）半导体有限公司

地址201306上海市浦东新区中国（上海）

自由贸易试验区临港新片区玉宇路

1068号2幢202室

(72)发明人邓建龙齐英

(74)专利代理机构上海申君律师事务所31594

专利代理师黄贞君

(51)Int.Cl.

G01N17/00(2006.01)

G01M3/04(2006.01)

G01N1/10(2006.01)

权