ISO 172972025 微束分析 聚焦离子束在TEM试样制备中的应用 词汇标准立项发展报告.docx

微束分析聚焦离子束在TEM试样制备中的应用词汇标准立项发展报告

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StandardizationDevelopmentReport:Microbeamanalysis—FocusedionbeamapplicationforTEMspecimenpreparation—Vocabulary

摘要

随着纳米科学与技术的飞速发展，透射电子显微镜（TEM）作为材料微观结构表征的核心工具，其试样制备质量直接决定了分析结果的准确性与可靠性。聚焦离子束（FIB）技术凭借其高精度、可定位、低损伤等特点，已成为TEM试样制备，特别是针对半导体器件、薄