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- 2026-08-02 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120048717A
(43)申请公布日2025.05.27
(21)申请号202510399153.6
(22)申请日2025.03.31
(71)申请人拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公
司
地址110171辽宁省沈阳市浑南区水家900
号
(72)发明人张晗杨艳郑旭东苏欣
(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公
司31100
专利代理师胡林岭
(51)Int.Cl.
H01J37/32(2006.01)
C23C16/44(2006.01)
C23C16/50(2006.01)
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