CN120261273A 一种直角结构及其制备方法 (上海新微半导体有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-03 发布于重庆
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CN120261273A 一种直角结构及其制备方法 (上海新微半导体有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120261273A

(43)申请公布日2025.07.04

(21)申请号202510403119.1

(22)申请日2025.04.01

(71)申请人上海新微半导体有限公司

地址200120上海市浦东新区中国(上海)

自由贸易试验区临港新片区飞渡路

2020号

(72)发明人王禹秋王龙龙赵风春刘峰

李耀耀

(74)专利代理机构上海光华专利事务所(普通

合伙)31219

专利代理师余明伟

(51)Int.Cl.

H01L21/027(2006.01)

权利要求书1页说明书6

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