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- 2026-08-03 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120261294A
(43)申请公布日2025.07.04
(21)申请号202510399233.1
(22)申请日2025.04.01
(71)申请人上海世禹精密设备股份有限公司
地址201600上海市松江区九亭镇金马路
76号1幢
(72)发明人林海涛赵凯梁猛邵嘉裕
吕治玮
(74)专利代理机构上海远同律师事务所31307
专利代理师许力
(51)Int.Cl.
H01L21/48(2006.01)
H01L21/60(2006.01)
权利要求书3页说明书9页附图15页
(54)发明名称
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